易度智能气体质量流量控制器【简称MFC】基于内部补偿型*层流压差技术,内置压力和温度传感器,能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异,通过精密电磁比例调节阀自动控制气体流量,从而提供更加准确和稳定的流量测量和控制。层流质量流量控制器可作为主要设备在高校科研院所和广泛的工业过程自动化控制中使用。
特征:
l 原理:层流压差式原理
l 便捷操作:可触屏点击输入设定流量,或者提供上位机软件设定流量。
l 核心优势:高精度、高重复性、快速响应
l 宽温度、宽压力适用范围:-20℃~60℃、1Mpa以内
l 实时显示4种过程变量
l 内置49种气体,,一键自由切换气体,无需查找、输入系数,并可自主编辑混合气体
l 无需预热时间,开机即可使用,即插即用。
l 可切换为流量计模式使用
产品规格:
l 产品型号:
SC系列-带触摸屏系列控制器,可触屏操作读取数据,方便工况现场使用,无需电脑,像手机一样方便。
MC系列:无屏幕系列控制器,可通过上位机软件设定流量、读取数据,适用配套用户,软件可同时测控16台流量计或控制器。
l 量程范围:0.5sccm~5000slpm
l 阀门种类:N/C(常闭型)
性能参数:
l 精度:±1.0%S.P. , ± 0.5%S.P.
l 重复精度:±0.2%F.S. ±0.1%F.S.
l 压力漂移:Zero:≤±0.2%F.S./100Kpa; Span:≤±0.2%F.S./100Kpa(基准100KPa(绝压))
l 温度漂移:Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.02%F.S./℃(基准温度20℃)
l 工作范围:1%~100%F.S.
l 响应时间:≤700ms.
l 启动预热时间:1s
使用条件:
l 介质温度:-20℃~60℃
l 环境温度:-20℃~50℃
l 使用湿度:0%~98%(无冷凝)
l 工作压力:0~1Mpa
l 耐压:1.5Mpa
l 工作压差范围:100kPa~700kPa
l 供电电压:24V±20%
l 消耗电流:<500mA (<12V)
l 安装方式:任意角度
l 接气部材质:SUS304,SUS316L
l 进出口:管螺纹(内螺纹)
l 接气部密封材质:橡胶圈密封:氟橡胶
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